X射線熒光光譜儀 (XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生發(fā)射X射線(一次X射線),激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素都會放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線,根據(jù)莫斯萊定律,熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關,其數(shù)學關系如下:λ=K(Z− s)−2(K和S是常數(shù))。根據(jù)量子理論,X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流,每個光具有的能量為:E=hν=h C/λ(E為X射線光子的能量,單位為keV;h為普朗克常數(shù);ν為光波的頻率;C為光速)。因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系,據(jù)此,可以進行元素定量分析。